Film formation device

WO2011099205 Art A1 18. August 2011

Anmelder: Fuji Electric Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011099205
Aktenzeichen: EP10845796
Anmeldetag: 16. November 2010
Veröffentlichung: 18. August 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fuji Electric Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fuji Electric

Japanischer Elektrotechnikkonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Leistungshalbleiter, Energieerzeugungsanlagen und industrielle Automatisierungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von