Transducer-Type Vacuum Gauge
WO2011099238
Art A1
18. August 2011
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011099238
- Aktenzeichen
- EP11741989
- Anmeldetag
- 20. Januar 2011
- Veröffentlichung
- 18. August 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01L21/00G01L21/12G01L21/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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