Topcoat composition comprising a polymer containing a repeat unit including a sulfonamide function, photoresist composition containing the same and methods of use
WO2011101259
Art A2
25. August 2011
Anmelder: International Business Machines Corporation, Central Glass Company, Limited 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011101259
- Aktenzeichen
- EP11703193
- Anmeldetag
- 3. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 25. August 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/11
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- International Business Machines Corporation
Central Glass Company, Limited - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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🇯🇵
Central Glass
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.
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