Film forming device, method of film forming, device and method for manufacturing thin-film solar cell
WO2011102053
Art A1
25. August 2011
Anmelder: Fuji Electric Holdings Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011102053
- Aktenzeichen
- EP10846184
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2010
- Veröffentlichung
- 25. August 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L31/04H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fuji Electric Holdings Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fuji Electric
Japanischer Elektrotechnikkonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Leistungshalbleiter, Energieerzeugungsanlagen und industrielle Automatisierungstechnik.
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