Field-emission electron gun and method for controlling same

WO2011102077 Art A1 25. August 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011102077
Aktenzeichen: EP11744372
Anmeldetag: 19. Januar 2011
Veröffentlichung: 25. August 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/073H01J37/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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