Quadrupolar Mass Spectrometer

WO2011102117 Art A1 25. August 2011

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011102117
Aktenzeichen: EP11744408
Anmeldetag: 15. Februar 2011
Veröffentlichung: 25. August 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01J49/42G01N27/62H01J41/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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