Optical waveguide, optical integrated circuit and a manufacturing method for producing said optical waveguide

WO2011102239 Art A1 25. August 2011

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011102239
Aktenzeichen: EP11744527
Anmeldetag: 4. Februar 2011
Veröffentlichung: 25. August 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G02B6/122G02B6/13

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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