Vertical vacuum device and processing method

WO2011102405 Art A1 25. August 2011

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011102405
Aktenzeichen: EP11744691
Anmeldetag: 17. Februar 2011
Veröffentlichung: 25. August 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24C23C14/34F16K51/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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