Laser device for exposure device

WO2011102486 Art A1 25. August 2011

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011102486
Aktenzeichen: EP11744772
Anmeldetag: 18. Februar 2011
Veröffentlichung: 25. August 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/134H01L21/027H01S3/104H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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