Methods and apparatuses for utilizing adaptive predictive algorithms and determining when to use the adaptive predictive algorithms for virtual metrology

WO2011103085 Art A2 25. August 2011

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011103085
Aktenzeichen: EP11745111
Anmeldetag: 15. Februar 2011
Veröffentlichung: 25. August 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G06F19/00G06Q50/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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