Post-Cmp Cleaning Brush
WO2011103538
Art A2
25. August 2011
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011103538
- Aktenzeichen
- EP11745410
- Anmeldetag
- 21. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 25. August 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304H01L21/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
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