Lithographic apparatus and device manufacturing method

WO2011104175 Art A1 1. September 2011

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Van Zwet 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011104175
Aktenzeichen: EP11705505
Anmeldetag: 18. Februar 2011
Veröffentlichung: 1. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
Van Zwet
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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