Rohling aus Titan-Dotiertem, Hochkieselsäurehaltigem Glas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der Euv-Lithographie und Verfahren für Seine Herstellung

WO2011104257 Art A1 1. September 2011

Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011104257
Aktenzeichen
EP11707135
Anmeldetag
23. Februar 2011
Veröffentlichung
1. September 2011
Rechtsraum
WO
IPC
C03B19/14C03C3/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Heraeus Quarzglas

Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.

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