Semiconductor substrate support susceptor for vapor-phase epitaxy, epitaxial wafer manufacturing device, and epitaxial wafer manufacturing method

WO2011105010 Art A1 1. September 2011

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011105010
Aktenzeichen: EP11746983
Anmeldetag: 28. Januar 2011
Veröffentlichung: 1. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/458C30B25/12H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

1.022 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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