Polarization converting unit, illumination optical system, exposure apparatus, and device manufacturing method

WO2011105308 Art A1 1. September 2011

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011105308
Aktenzeichen: EP11709222
Anmeldetag: 14. Februar 2011
Veröffentlichung: 1. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/28G02B5/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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