Fluorine-containing lactone monomeric compound, fluorine -containing lactone polymeric compound, resist fluid and topcoating composition that contain same, and method for pattern formation using same

WO2011105399 Art A1 1. September 2011

Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011105399
Aktenzeichen
EP11747360
Anmeldetag
23. Februar 2011
Veröffentlichung
1. September 2011
Rechtsraum
WO
IPC
C08F20/28G03F7/039G03F7/11H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Central Glass Company, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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