Cell for light source
WO2011106227
Art A2
1. September 2011
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011106227
- Aktenzeichen
- EP11747883
- Anmeldetag
- 17. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 1. September 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J65/00H01J61/30H01J61/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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