Solar Cell Process Carrier
WO2011109535
Art A2
9. September 2011
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011109535
- Aktenzeichen
- EP11751304
- Anmeldetag
- 2. März 2011
- Veröffentlichung
- 9. September 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/673H01L31/042B65D85/38B65D85/86
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
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