Damage free cleaning using narrow band megasonic cleaning

WO2011109590 Art A1 9. September 2011

Anmelder: Northeastern University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011109590
Aktenzeichen
EP11751341
Anmeldetag
3. März 2011
Veröffentlichung
9. September 2011
Rechtsraum
WO
IPC
B08B3/12H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Northeastern University
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Northeastern University (Boston)

Northeastern University ist eine private Forschungsuniversität mit Hauptsitz in Boston, USA. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt um Metallurgie und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen sind seit 2002 belegt.

527 Patente in unserer Datenbank

Vertreten von

Kein Vertreter erfasst.

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen