Damage free cleaning using narrow band megasonic cleaning
WO2011109590
Art A1
9. September 2011
Anmelder: Northeastern University 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011109590
- Aktenzeichen
- EP11751341
- Anmeldetag
- 3. März 2011
- Veröffentlichung
- 9. September 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B08B3/12H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Northeastern University
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Northeastern University (Boston)
Northeastern University ist eine private Forschungsuniversität mit Hauptsitz in Boston, USA. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt um Metallurgie und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen sind seit 2002 belegt.
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