Measuring flow properties of multiple gas nozzles of a gas distributor

WO2011109758 Art A2 9. September 2011

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011109758
Aktenzeichen: EP11751460
Anmeldetag: 4. März 2011
Veröffentlichung: 9. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01D21/02G01F1/34G01L9/08G01L7/08G01N9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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