Slurry, polishing fluid set, polishing fluid, and substrate polishing method using same

WO2011111421 Art A1 15. September 2011

Anmelder: Hitachi Chemical Company, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011111421
Aktenzeichen: EP11753083
Anmeldetag: 20. Januar 2011
Veröffentlichung: 15. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/00C09K3/14H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Chemical Company, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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