Methods of forming an array of memory cells, methods of forming a plurality of field effect transistors, methods of forming source/drain regions and isolation trenches, and methods of forming a series of spaced trenches into a substrate
WO2011112303
Art A2
15. September 2011
Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011112303
- Aktenzeichen
- EP11753757
- Anmeldetag
- 10. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 15. September 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/336H01L29/78H01L21/76
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Micron Technology, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Micron Technology
US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.
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