Deposition chamber cleaning system and method

WO2011112587 Art A1 15. September 2011

Anmelder: First Solar, Inc 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011112587
Aktenzeichen
EP11753929
Anmeldetag
8. März 2011
Veröffentlichung
15. September 2011
Rechtsraum
WO
IPC
B08B7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
First Solar, Inc
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 First Solar

First Solar ist ein US-amerikanischer Hersteller von Dünnschicht-Solarmodulen. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Metallurgie sowie Elektro- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem Rückkontakte und Halbleiterkontaktschichten für Photovoltaikmodule.

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