Nanometer-precision six-degree-of-freedom magnetic suspension micro-motion table and application thereof

WO2011113347 Art A1 22. September 2011

Anmelder: Tsinghua University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011113347
Aktenzeichen: EP11755664
Anmeldetag: 15. März 2011
Veröffentlichung: 22. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Tsinghua University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

1.696 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von