Optical collector for collecting extreme ultraviolet radiation, method for operating such an optical collector, and euv source with such a collector
WO2011113591
Art A2
22. September 2011
Anmelder: ETH Zurich 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011113591
- Aktenzeichen
- EP11714926
- Anmeldetag
- 16. März 2011
- Veröffentlichung
- 22. September 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ETH Zurich
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
ETH Zürich
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.
996 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.