Sem type defect observation device and defect image acquiring method

WO2011114403 Art A1 22. September 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011114403
Aktenzeichen: EP10847821
Anmeldetag: 1. Dezember 2010
Veröffentlichung: 22. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22H01J37/24H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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