Image generating method and device using scanning charged particle microscope, sample observation method, and observing device

WO2011114644 Art A1 22. September 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011114644
Aktenzeichen: EP11755837
Anmeldetag: 4. März 2011
Veröffentlichung: 22. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/04G01N23/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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