Method for measuring viscoelasticity and device for measuring viscoelasticity
WO2011114684
Art A1
22. September 2011
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011114684
- Aktenzeichen
- EP11755877
- Anmeldetag
- 14. März 2011
- Veröffentlichung
- 22. September 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N11/16G01N19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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