Method of cleaning electronic material and cleaning system

WO2011114885 Art A1 22. September 2011

Anmelder: Kurita Water Industries Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011114885
Aktenzeichen: EP11756074
Anmeldetag: 2. März 2011
Veröffentlichung: 22. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B08B3/08B08B3/10G03F7/42H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kurita Water Industries Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kurita Water Industries

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.

1.069 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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