Irradiance distribution detection method in extreme ultraviolet light source device, and location adjustment method for light focusing optical means

WO2011114887 Art A1 22. September 2011

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011114887
Aktenzeichen: EP11756076
Anmeldetag: 2. März 2011
Veröffentlichung: 22. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

559 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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