Height measurement method, program for measuring height, and height measurement device

WO2011114939 Art A1 22. September 2011

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011114939
Aktenzeichen: EP11756128
Anmeldetag: 8. März 2011
Veröffentlichung: 22. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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