Extreme ultraviolet light light-source apparatus

WO2011114958 Art A1 22. September 2011

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha, Tokyo Institute of Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011114958
Aktenzeichen: EP11756147
Anmeldetag: 9. März 2011
Veröffentlichung: 22. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Tokyo Institute of Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

559 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tokyo Institute of Technology

Japanische technische Universität in Tokio mit Schwerpunkt auf Natur- und Ingenieurwissenschaften. Seit 2024 firmiert sie im Zuge einer Fusion als Institute of Science Tokyo.

739 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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