Liquid application apparatus, liquid application method and imprinting system

WO2011115282 Art A1 22. September 2011

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011115282
Aktenzeichen: EP11756464
Anmeldetag: 15. März 2011
Veröffentlichung: 22. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B05C5/00B05D1/26H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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