Optimized Electrostatic Pinning And/or Charging

WO2011115605 Art A1 22. September 2011

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011115605
Aktenzeichen: EP10848090
Anmeldetag: 5. Mai 2010
Veröffentlichung: 22. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B41J2/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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