Vapor compression refrigeration chuck for ion implanters

WO2011115675 Art A2 22. September 2011

Anmelder: Axcelis Technologies Inc., Lee, William, Purohit, Ashwin, Lafontaine, Marvin 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011115675
Aktenzeichen: EP11712355
Anmeldetag: 16. März 2011
Veröffentlichung: 22. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Axcelis Technologies Inc.
Lee, William
Purohit, Ashwin
Lafontaine, Marvin
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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