Steering device for controlling the direction and/or velocity of droplets of a target material and extreme euv source with such a steering device
WO2011116898
Art A1
29. September 2011
Anmelder: ETH Zurich 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011116898
- Aktenzeichen
- EP11715654
- Anmeldetag
- 16. März 2011
- Veröffentlichung
- 29. September 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ETH Zurich
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
ETH Zürich
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.
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