Substrate processing device, substrate processing method, program, and computer recording medium

WO2011118346 Art A1 29. September 2011

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011118346
Aktenzeichen: EP11759154
Anmeldetag: 2. März 2011
Veröffentlichung: 29. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/027H01L21/677H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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