Substrate processing apparatus with composite seal

WO2011119916 Art A1 29. September 2011

Anmelder: Parker-Hannifin Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011119916
Aktenzeichen: EP11713127
Anmeldetag: 25. März 2011
Veröffentlichung: 29. September 2011
Rechtsraum: WO
IPC: F16J15/06F16J15/10F16J15/16H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Parker-Hannifin Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Parker Hannifin

US-amerikanisches Unternehmen für Antriebs- und Steuerungstechnik mit Schwerpunkt auf Hydraulik, Pneumatik und Dichtungstechnik.

754 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

Vertreten von

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