Patterned media defect inspector device and inspection method for stamper for patterned media employing same

WO2011122096 Art A1 6. Oktober 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011122096
Aktenzeichen: EP11762337
Anmeldetag: 1. Februar 2011
Veröffentlichung: 6. Oktober 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G11B5/84G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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