Corrosion-resistant member for a semiconductor manufacturing device, and manufacturing method therefor

WO2011122376 Art A1 6. Oktober 2011

Anmelder: NGK Insulators, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011122376
Aktenzeichen: EP11762609
Anmeldetag: 18. März 2011
Veröffentlichung: 6. Oktober 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C04B35/50H01L21/205H01L21/3065H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NGK Insulators, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von