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WO2011122411 Art A1 6. Oktober 2011

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011122411
Aktenzeichen: EP11762643
Anmeldetag: 23. März 2011
Veröffentlichung: 6. Oktober 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34H01L43/08H01L43/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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