Mold having release layer for imprinting, method for producing mold having release layer for imprinting, and method for producing copy mold

WO2011122605 Art A1 6. Oktober 2011

Anmelder: Hoya Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011122605
Aktenzeichen: EP11762829
Anmeldetag: 29. März 2011
Veröffentlichung: 6. Oktober 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B29C59/02B29C33/38H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hoya Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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