Method and system for optical metrology optimization using ray tracing

WO2011123702 Art A1 6. Oktober 2011

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011123702
Aktenzeichen: EP11763473
Anmeldetag: 31. März 2011
Veröffentlichung: 6. Oktober 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G01N37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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