Film-forming apparatus

WO2011125733 Art A1 13. Oktober 2011

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011125733
Aktenzeichen: EP11765633
Anmeldetag: 30. März 2011
Veröffentlichung: 13. Oktober 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31H01L21/3065H05H1/00H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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