Substrate cartridge, substrate storage device, and substrate processing system

WO2011126133 Art A1 13. Oktober 2011

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011126133
Aktenzeichen: EP11766033
Anmeldetag: 11. April 2011
Veröffentlichung: 13. Oktober 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B65H75/36B65H20/34H01L51/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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