Mask blank and process for production of mold for imprinting use

WO2011129212 Art A1 20. Oktober 2011

Anmelder: Hoya Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011129212
Aktenzeichen: EP11768733
Anmeldetag: 4. April 2011
Veröffentlichung: 20. Oktober 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C33/38G11B5/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hoya Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

1.653 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

Vertreten von