Methods of processing and inspecting semiconductor substrates

WO2011131349 Art A1 27. Oktober 2011

Anmelder: Nanda Technologies GmbH, IMEC 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011131349
Aktenzeichen: EP11715884
Anmeldetag: 19. April 2011
Veröffentlichung: 27. Oktober 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nanda Technologies GmbH
IMEC
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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