Plasma processing device

WO2011132494 Art A1 27. Oktober 2011

Anmelder: Sekisui Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011132494
Aktenzeichen
EP11771831
Anmeldetag
24. März 2011
Veröffentlichung
27. Oktober 2011
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sekisui Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sekisui Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Osaka, tätig in den Bereichen Hochleistungskunststoffe, Bauelemente und elektronische Materialien.

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