Coated graphite article and reactive ion etch manufacturing and refurbishment of graphite article
WO2011133417
Art A2
27. Oktober 2011
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011133417
- Aktenzeichen
- EP11772472
- Anmeldetag
- 15. April 2011
- Veröffentlichung
- 27. Oktober 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01B5/14H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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