Novel dual-tone resist formulations and methods
WO2011133680
Art A2
27. Oktober 2011
Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011133680
- Aktenzeichen
- EP11772642
- Anmeldetag
- 20. April 2011
- Veröffentlichung
- 27. Oktober 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/00H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Board of Regents, The University of Texas System
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Texas System
US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.
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